نقد و بررسی
ضخامتسنج لایههای نازک با استفاده از پراش فرنل از پله فازی
کاربرد
- ضخامت سنجی لایه های نازک تا دقت 5درصد حداکثر 2 نانومتر.
- کاربرد در آزمایشگاه های نانو، متالورژی، فیزیک، برق، صنعت لایه نشانی، صنایع نظامی
- انـدازه گیری ضخامت در مولتـــی لایــه ها، فیــــلتـرهای اپــتیکی و دیــکروئیک ها ، صنایع نـظامی و الکتـرونیکی، لایـــه نشانی، صنعت نیــمه هادی، سلولهای خورشیدی میــکرو الکتــرونـیک، mems & nems، صنعت سنــسورسازی و غیره
معرفی
این دستگاه با بررسی داده های ناشی از پراش فرنل از پله فازی ضخامت لایه های نشانده شده بر روی سطوح را با دقت حداکثر 2 نانومتر اندازه گیری می کند.
لیــــــزر با توان 5 تا 15 میلی وات جهت تامین نور (با دو طول موج در دستگاه اول)، مـــوازی ساز نـــور شامل دو عدسی و یک پین هل (Pin hole) با دقت هم خطی 5 میکرون، گونیـــــومتر دارای دقت حداقل 1 دقیقه در زاویه به همراه بازوی تغییرات 1 به 2 برای CCD ، موتــــور برای تغییرات زاویه و مشاهده دیجیتال زاویه (Encoder)، نگهــدارنـده سه محوری نمونه و دوربین، دوربین دارای اندازه پیکسل 5 میکرون، کاور دستگاه دارای طراحی ترکیبی فلز و پلاستیک، نـرم افزار پردازش تصاویر و اعلام ضخامت از اجزای تشکیل دهنده دستگاه هستند.
مزایا
- عدم حساسیت به نوسانات مکانیکی بر خلاف سایر روش ها
- عدم نیاز به کالیبراسیون دائمی بر خلاف سایر روش ها
- محدوده کاری وسیع تر نسبت به سایر روش ها (نانومتر تا چند میکرون)
- علم و تکنولوژی ساخت کاملاً بومی
- عدم نیاز به پارامتر ورودی
- سهولت کار با دستگاه
دیدگاهها
هیچ دیدگاهی برای این محصول نوشته نشده است.