معرفی

این دستگاه با استفاده از تکنولوژی تداخل سنجی نور سفید به بررسی رویه اجسام می پردازد )شکل 1( به این صورت که با ترکیب منبع نور سفید، سیستم اپتیکی و سنسور CCD فاصله شیئی تا اجسام مشخص می شود.

بازه ی اندازهگیری این روش از مرتبهی نانومتر تا میلیمتر است. دقت اندازهگیری در این روش وابسته به همدوسی منبع نور، دقت و تکرارپذیری استیج عمودی، مقاومت در برابر لرزش، بازتابپذیری و زبری سطح نمونه، و خطای سنسور CCD است. با در نظر گرفتن تمامی این فاکتورها دستگاه MOA-ZA دارای دقت 5 نانومتر است.